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恒运昌:公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换

时间:2026-02-13 04:07:13
  

  同花顺300033)金融研究中心02月09日讯,有投资者向恒运昌提问, 请问公司是否有能力完成原厂大客户的维修+替换(包括MKS+AE等国外产品)国产化替代工作,目前是否有已完成的项目?

  公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源,实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换。此外,公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了 CVD(化学气相沉积)工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品。

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