国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备”的专利，授权公告号CN223871443U，申请日期为2024年12月。

　　专利摘要显示，本申请公开一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备，该边缘进气装置包括匀气部件、喷气部件和驱动部件；所述匀气部件具有匀气腔，所述匀气腔对应的侧壁开设有安装孔，所述喷气部件具有喷气通道，所述喷气部件的进气端位于所述匀气腔，所述喷气部件的出气端贯穿所述安装孔，所述喷气通道和所述匀气腔连通；所述驱动部件被配置为能够驱动所述喷气部件俯仰，以调节所述喷气通道相对于水平方向的倾斜角度。该边缘进气装置在应用时，能够提升反应腔室内部等离子体分布的均匀性。

　　天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目258次，财产线条，此外企业还拥有行政许可14个。

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